良好的機(jī)械和熱學(xué)特性:硬度較高,在研磨、拋光過程中不易被劃傷,保證了薄膜表面的平整性;同時能夠承受較高的溫度而不發(fā)生分解或結(jié)構(gòu)破壞,在高溫環(huán)境中的抗裂性和耐用性良好,確保了薄膜在濺射和高溫條件下的穩(wěn)定性。
粉末冶金法:將銦氧化物和錫氧化物粉末均勻混合,隨后進(jìn)行預(yù)燒結(jié),以獲得初步的靶材結(jié)構(gòu)。預(yù)燒結(jié)步驟通常在相對低溫下進(jìn)行,目的是通過部分熔融促進(jìn)粉末顆粒的結(jié)合,同時防止過早的晶粒長大。粉體粒徑分布的控制是該方法中的關(guān)鍵一環(huán)。
精銦是指純度的金屬銦,通常純度在 99.99%(4N)以上,高純度規(guī)格可達(dá) 99.9999%(6N)甚至更高.精銦是通過精煉工藝去除銦原料中的雜質(zhì)(如鉛、鋅、鎘、錫等)后得到的高純度金屬,呈銀白色光澤,質(zhì)地柔軟,具有良好的延展性和導(dǎo)電性。
物理化學(xué)性能
物理性質(zhì):
密度:7.31 g/cm3,熔點 156.6℃,沸點 2080℃,常溫下可彎曲而不碎裂。
導(dǎo)電性:電導(dǎo)率約 1.1×10? S/m,僅次于銀、銅,適用于高頻電子元件。
化學(xué)性質(zhì):
常溫下在空氣中穩(wěn)定,加熱至 100℃以上會氧化生成 In?O?;可溶于強(qiáng)酸(如鹽酸、硫酸),但在堿中穩(wěn)定性較高。