半導(dǎo)體領(lǐng)域:占比 28%,用于晶圓制造的金屬互聯(lián)層與鈍化層沉積,在第三代半導(dǎo)體器件制造中的滲透率持續(xù)攀升,如氮化鎵功率器件就需要使用銦靶。
粉末冶金法:將銦氧化物和錫氧化物粉末均勻混合,隨后進(jìn)行預(yù)燒結(jié),以獲得初步的靶材結(jié)構(gòu)。預(yù)燒結(jié)步驟通常在相對(duì)低溫下進(jìn)行,目的是通過部分熔融促進(jìn)粉末顆粒的結(jié)合,同時(shí)防止過早的晶粒長(zhǎng)大。粉體粒徑分布的控制是該方法中的關(guān)鍵一環(huán)。
純度分級(jí):
4N 精銦:純度≥99.99%,主要用于普通電子元器件及靶材原料。
5N-6N 精銦:純度≥99.999%-99.9999%,用于高端半導(dǎo)體、光電材料等領(lǐng)域。
合金與特殊材料(占比約 10%):
銦錫合金:熔點(diǎn)低至 120℃,用于保險(xiǎn)絲、牙科材料;銦鉛合金可作為核反應(yīng)堆的中子吸收材料。
銦箔與涂層:高純銦箔用于真空密封、輻射屏蔽(如 X 射線探測(cè)器),或作為耐腐蝕涂層(如海洋工程)。
科研與新興領(lǐng)域:
量子點(diǎn)顯示、鈣鈦礦電池、柔性電子器件等前沿技術(shù)中,精銦作為高純?cè)嫌糜诒∧こ练e或材料合成。