主要成分:通常由 90% 的氧化銦(In?O?)和 10% 的氧化錫(SnO?)組成,這一比例在實際應(yīng)用中能實現(xiàn)透明性和導(dǎo)電性的理想平衡。
外觀特性:在靶材形態(tài)下,顏色通常為淺黃色至淺綠色,而制成薄膜后則具有透明性。
良好的機械和熱學特性:硬度較高,在研磨、拋光過程中不易被劃傷,保證了薄膜表面的平整性;同時能夠承受較高的溫度而不發(fā)生分解或結(jié)構(gòu)破壞,在高溫環(huán)境中的抗裂性和耐用性良好,確保了薄膜在濺射和高溫條件下的穩(wěn)定性。
精銦的制備需經(jīng)過多步精煉,核心工藝包括:
原料預(yù)處理:以鋅冶煉副產(chǎn)物(如浸出渣、煙灰)或含銦廢料為原料,通過酸浸、萃取等方式初步分離銦。
電解精煉:將粗銦溶解為銦鹽溶液(如硫酸銦),通過電解沉積得到純度約 99.95% 的粗精銦。
深度提純:
真空蒸餾:在高真空條件下利用銦與雜質(zhì)的沸點差異(銦沸點 2080℃,雜質(zhì)如鋅沸點 907℃)去除低沸點雜質(zhì)。
區(qū)域熔煉:通過移動加熱區(qū)使雜質(zhì)在固液界面重新分布,多次操作后可將純度提升至 6N 以上。
化學提純:利用萃取劑(如三丁基氧化膦)或離子交換樹脂進一步去除微量金屬離子。
物理化學性能
物理性質(zhì):
密度:7.31 g/cm3,熔點 156.6℃,沸點 2080℃,常溫下可彎曲而不碎裂。
導(dǎo)電性:電導(dǎo)率約 1.1×10? S/m,僅次于銀、銅,適用于高頻電子元件。
化學性質(zhì):
常溫下在空氣中穩(wěn)定,加熱至 100℃以上會氧化生成 In?O?;可溶于強酸(如鹽酸、硫酸),但在堿中穩(wěn)定性較高。