銦靶是指以銦為主要成分的濺射靶材,是一種在材料表面鍍膜過(guò)程中用于提供銦源的材料。在真空濺射鍍膜工藝中,銦靶材在高能粒子的轟擊下,銦原子被濺射出來(lái)并沉積在基底材料表面,形成所需的銦薄膜。
主要成分:通常由 90% 的氧化銦(In?O?)和 10% 的氧化錫(SnO?)組成,這一比例在實(shí)際應(yīng)用中能實(shí)現(xiàn)透明性和導(dǎo)電性的理想平衡。
外觀特性:在靶材形態(tài)下,顏色通常為淺黃色至淺綠色,而制成薄膜后則具有透明性。
物理化學(xué)性能
物理性質(zhì):
密度:7.31 g/cm3,熔點(diǎn) 156.6℃,沸點(diǎn) 2080℃,常溫下可彎曲而不碎裂。
導(dǎo)電性:電導(dǎo)率約 1.1×10? S/m,僅次于銀、銅,適用于高頻電子元件。
化學(xué)性質(zhì):
常溫下在空氣中穩(wěn)定,加熱至 100℃以上會(huì)氧化生成 In?O?;可溶于強(qiáng)酸(如鹽酸、硫酸),但在堿中穩(wěn)定性較高。
合金與特殊材料(占比約 10%):
銦錫合金:熔點(diǎn)低至 120℃,用于保險(xiǎn)絲、牙科材料;銦鉛合金可作為核反應(yīng)堆的中子吸收材料。
銦箔與涂層:高純銦箔用于真空密封、輻射屏蔽(如 X 射線探測(cè)器),或作為耐腐蝕涂層(如海洋工程)。
科研與新興領(lǐng)域:
量子點(diǎn)顯示、鈣鈦礦電池、柔性電子器件等前沿技術(shù)中,精銦作為高純?cè)嫌糜诒∧こ练e或材料合成。