半導(dǎo)體領(lǐng)域:占比 28%,用于晶圓制造的金屬互聯(lián)層與鈍化層沉積,在第三代半導(dǎo)體器件制造中的滲透率持續(xù)攀升,如氮化鎵功率器件就需要使用銦靶。
超高密度成型:超高密度成型工藝(≥99.5%)可使靶材具有更好的性能,提高在真空濺射過程中的穩(wěn)定性和使用壽命。
晶粒定向控制:晶粒定向控制技術(shù)能夠控制銦靶的晶粒尺寸和方向,提升濺射薄膜的質(zhì)量和性能,滿足高端應(yīng)用領(lǐng)域的需求。
物理化學(xué)性能
物理性質(zhì):
密度:7.31 g/cm3,熔點 156.6℃,沸點 2080℃,常溫下可彎曲而不碎裂。
導(dǎo)電性:電導(dǎo)率約 1.1×10? S/m,僅次于銀、銅,適用于高頻電子元件。
化學(xué)性質(zhì):
常溫下在空氣中穩(wěn)定,加熱至 100℃以上會氧化生成 In?O?;可溶于強(qiáng)酸(如鹽酸、硫酸),但在堿中穩(wěn)定性較高。
靶材原料(占比約 60%):
用于制備 ITO(氧化銦錫)靶材,生產(chǎn) LCD、OLED 顯示面板的透明導(dǎo)電膜(如手機(jī)屏幕、電視面板)。
光伏領(lǐng)域:作為 CIGS(銅銦鎵硒)薄膜太陽能電池的關(guān)鍵原料,提升光電轉(zhuǎn)換效率。