微觀結(jié)構(gòu):銦靶晶粒尺寸一般需維持在 10-50 微米區(qū)間,密度高于 7.31g/cm3,熱導(dǎo)率保持在 81.8W/(m?K) 以上,這些技術(shù)參數(shù)直接決定了其在真空濺射過(guò)程中的沉積效率和薄膜質(zhì)量。
熱等靜壓(HIP)工藝:在高溫和高壓環(huán)境下進(jìn)行燒結(jié),能夠顯著提高材料的致密度,減少材料中的孔隙,改善材料的微觀結(jié)構(gòu),使得 ITO 靶材具有更高的電導(dǎo)率和機(jī)械強(qiáng)度,但該工藝成本較為昂貴。
純度分級(jí):
4N 精銦:純度≥99.99%,主要用于普通電子元器件及靶材原料。
5N-6N 精銦:純度≥99.999%-99.9999%,用于高端半導(dǎo)體、光電材料等領(lǐng)域。
半導(dǎo)體與電子工業(yè)(占比約 25%):
焊料與封裝:利用銦的低熔點(diǎn)和延展性,作為半導(dǎo)體芯片的焊接材料(如倒裝焊、熱沉連接),可適應(yīng)精密器件的高溫穩(wěn)定性需求。
化合物半導(dǎo)體:與鎵、砷等元素合成 InGaAs、InP 等化合物,用于 5G 芯片、激光器、探測(cè)器(如紅外成像器件)。