半導(dǎo)體領(lǐng)域:占比 28%,用于晶圓制造的金屬互聯(lián)層與鈍化層沉積,在第三代半導(dǎo)體器件制造中的滲透率持續(xù)攀升,如氮化鎵功率器件就需要使用銦靶。
良好的機(jī)械和熱學(xué)特性:硬度較高,在研磨、拋光過程中不易被劃傷,保證了薄膜表面的平整性;同時能夠承受較高的溫度而不發(fā)生分解或結(jié)構(gòu)破壞,在高溫環(huán)境中的抗裂性和耐用性良好,確保了薄膜在濺射和高溫條件下的穩(wěn)定性。
顯示技術(shù)領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于 LCD、OLED、AMOLED 等平板顯示器件中作為透明電極,確保顯示設(shè)備既能透光顯示圖像,又能導(dǎo)電傳輸信號。
光伏技術(shù)領(lǐng)域:在太陽能電池中,ITO 薄膜作為前電極材料,具有高透明性,能夠保證光線有效進(jìn)入吸收層,從而提升光電轉(zhuǎn)換效率,適用于 CIGS、CdTe 等薄膜太陽能電池技術(shù)。
其他領(lǐng)域:在智能窗、透明發(fā)熱膜、紅外反射膜等領(lǐng)域也有應(yīng)用,滿足智能建筑和汽車工業(yè)中的透明導(dǎo)電需求。