銦靶是指以銦為主要成分的濺射靶材,是一種在材料表面鍍膜過程中用于提供銦源的材料。在真空濺射鍍膜工藝中,銦靶材在高能粒子的轟擊下,銦原子被濺射出來并沉積在基底材料表面,形成所需的銦薄膜。
微觀結(jié)構(gòu):銦靶晶粒尺寸一般需維持在 10-50 微米區(qū)間,密度高于 7.31g/cm3,熱導(dǎo)率保持在 81.8W/(m?K) 以上,這些技術(shù)參數(shù)直接決定了其在真空濺射過程中的沉積效率和薄膜質(zhì)量。
光伏產(chǎn)業(yè):占比 15%,應(yīng)用于薄膜太陽能電池的透明電極,如銅銦鎵硒(CIGS)薄膜電池、光伏異質(zhì)結(jié)電池(HJT)等,隨著這些電池技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加速,對銦靶的需求也在不斷增加。
精銦的制備需經(jīng)過多步精煉,核心工藝包括:
原料預(yù)處理:以鋅冶煉副產(chǎn)物(如浸出渣、煙灰)或含銦廢料為原料,通過酸浸、萃取等方式初步分離銦。
電解精煉:將粗銦溶解為銦鹽溶液(如硫酸銦),通過電解沉積得到純度約 99.95% 的粗精銦。
深度提純:
真空蒸餾:在高真空條件下利用銦與雜質(zhì)的沸點(diǎn)差異(銦沸點(diǎn) 2080℃,雜質(zhì)如鋅沸點(diǎn) 907℃)去除低沸點(diǎn)雜質(zhì)。
區(qū)域熔煉:通過移動加熱區(qū)使雜質(zhì)在固液界面重新分布,多次操作后可將純度提升至 6N 以上。
化學(xué)提純:利用萃取劑(如三丁基氧化膦)或離子交換樹脂進(jìn)一步去除微量金屬離子。