微觀結(jié)構(gòu):銦靶晶粒尺寸一般需維持在 10-50 微米區(qū)間,密度高于 7.31g/cm3,熱導(dǎo)率保持在 81.8W/(m?K) 以上,這些技術(shù)參數(shù)直接決定了其在真空濺射過程中的沉積效率和薄膜質(zhì)量。
主要成分:通常由 90% 的氧化銦(In?O?)和 10% 的氧化錫(SnO?)組成,這一比例在實(shí)際應(yīng)用中能實(shí)現(xiàn)透明性和導(dǎo)電性的理想平衡。
外觀特性:在靶材形態(tài)下,顏色通常為淺黃色至淺綠色,而制成薄膜后則具有透明性。
良好的機(jī)械和熱學(xué)特性:硬度較高,在研磨、拋光過程中不易被劃傷,保證了薄膜表面的平整性;同時(shí)能夠承受較高的溫度而不發(fā)生分解或結(jié)構(gòu)破壞,在高溫環(huán)境中的抗裂性和耐用性良好,確保了薄膜在濺射和高溫條件下的穩(wěn)定性。
合金與特殊材料(占比約 10%):
銦錫合金:熔點(diǎn)低至 120℃,用于保險(xiǎn)絲、牙科材料;銦鉛合金可作為核反應(yīng)堆的中子吸收材料。
銦箔與涂層:高純銦箔用于真空密封、輻射屏蔽(如 X 射線探測器),或作為耐腐蝕涂層(如海洋工程)。
科研與新興領(lǐng)域:
量子點(diǎn)顯示、鈣鈦礦電池、柔性電子器件等前沿技術(shù)中,精銦作為高純原料用于薄膜沉積或材料合成。