半導體領域:占比 28%,用于晶圓制造的金屬互聯(lián)層與鈍化層沉積,在第三代半導體器件制造中的滲透率持續(xù)攀升,如氮化鎵功率器件就需要使用銦靶。
光伏產業(yè):占比 15%,應用于薄膜太陽能電池的透明電極,如銅銦鎵硒(CIGS)薄膜電池、光伏異質結電池(HJT)等,隨著這些電池技術的產業(yè)化進程加速,對銦靶的需求也在不斷增加。
優(yōu)異的光學性能:在可見光波段(380-780nm)內,ITO 薄膜的透光率通常能夠達到 80% 以上,高透光率確保了其在顯示器、太陽能電池等應用中的良好表現(xiàn)。
粉末冶金法:將銦氧化物和錫氧化物粉末均勻混合,隨后進行預燒結,以獲得初步的靶材結構。預燒結步驟通常在相對低溫下進行,目的是通過部分熔融促進粉末顆粒的結合,同時防止過早的晶粒長大。粉體粒徑分布的控制是該方法中的關鍵一環(huán)。