集成電路(IC)制造
用途:作為金屬互連層或接觸電極材料,用于芯片內(nèi)部的導(dǎo)電線路、晶體管電極等關(guān)鍵部位。
優(yōu)勢:銦的低熔點(diǎn)和高延展性使其易于加工成極薄的薄膜,滿足納米級制程對材料精度的要求。
航空航天與國防科技
1. 紅外探測與成像
用途:在紅外焦平面陣列(IRFPA)中作為芯片互連材料(如銦柱倒裝焊),實(shí)現(xiàn)探測器芯片與讀出電路的高密度連接。
場景:軍用夜視儀、衛(wèi)星遙感設(shè)備、熱成像儀等。
2. 高溫真空器件
應(yīng)用:在航空航天用真空電子器件(如行波管、磁控管)中作為密封材料或電極鍍膜,利用銦的低蒸氣壓和抗腐蝕特性。
安裝前預(yù)處理
表面清潔:
用無水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指紋及氧化層(可用無塵布蘸取溶劑沿同一方向擦拭,避免來回摩擦)。
若靶材表面有輕微氧化,可用細(xì)砂紙(800~1200 目)輕輕打磨,再用去離子水沖洗并干燥。
靶材檢查:
確認(rèn)靶材無裂紋、孔洞或脫落(銦質(zhì)地軟,運(yùn)輸或安裝時易磕碰損傷)。
檢查靶材與靶架的適配性(如尺寸公差、導(dǎo)電性接觸點(diǎn)),確保安裝牢固。
防護(hù)措施
個人防護(hù):操作時佩戴防靜電手套、護(hù)目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風(fēng)良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠(yuǎn)離明火,廢棄靶材及碎屑應(yīng)收集于專用容器中,按危險廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時需確保設(shè)備接地良好,防止電磁輻射對操作人員或周邊儀器的干擾。