物理特性:銦靶材呈銀色光澤的灰色,熔點為 156.61℃,沸點 2060℃,密度 7.3 g/cm3。質(zhì)地非常軟,能用指甲刻痕,可塑性強,有良好的延展性,可壓成片。
化學(xué)特性:銦具有較好的化學(xué)穩(wěn)定性,但在一些特定的環(huán)境下,如高溫、強酸堿等條件下,可能會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。銦化合物在真空下蒸發(fā),能夠在電子產(chǎn)品和光伏電池生產(chǎn)中形成薄膜。
顯示領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導(dǎo)電薄膜,提高顯示器的性能和質(zhì)量。
集成電路(IC)制造
用途:作為金屬互連層或接觸電極材料,用于芯片內(nèi)部的導(dǎo)電線路、晶體管電極等關(guān)鍵部位。
優(yōu)勢:銦的低熔點和高延展性使其易于加工成極薄的薄膜,滿足納米級制程對材料精度的要求。
存儲環(huán)境控制
溫濕度:存儲于干燥、恒溫環(huán)境(溫度 15~25℃,濕度≤40% RH),避免銦靶吸潮氧化(銦在潮濕空氣中易生成 In?O?薄膜,影響濺射效率)。
防塵防潮:用鋁箔或真空袋密封包裝,存放于潔凈柜中,防止灰塵附著或與其他化學(xué)物質(zhì)接觸。