半導(dǎo)體領(lǐng)域:純銦在半導(dǎo)體中用作薄膜層,銦靶材可用于制造高速電動(dòng)機(jī)的軸承涂層,使?jié)櫥途鶆蚍植迹€可用于半導(dǎo)體器件的制造,如集成電路、芯片等。
光學(xué)領(lǐng)域:用于制造反射率與銀鏡一樣高但不會(huì)褪色的鏡,還可用于制造其他光學(xué)器件,如濾光片、光通信器件等。
其他領(lǐng)域:可用于制造低熔點(diǎn)合金,如 24%銦和 76%鎵的合金在室溫下為液態(tài),此外,還可用于制造整流器、熱敏電阻和光電導(dǎo)體等電氣組件。
航空航天與國防科技
1. 紅外探測(cè)與成像
用途:在紅外焦平面陣列(IRFPA)中作為芯片互連材料(如銦柱倒裝焊),實(shí)現(xiàn)探測(cè)器芯片與讀出電路的高密度連接。
場(chǎng)景:軍用夜視儀、衛(wèi)星遙感設(shè)備、熱成像儀等。
2. 高溫真空器件
應(yīng)用:在航空航天用真空電子器件(如行波管、磁控管)中作為密封材料或電極鍍膜,利用銦的低蒸氣壓和抗腐蝕特性。
濺射時(shí)間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時(shí)間。
靶材利用率:避免過度濺射導(dǎo)致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時(shí)需及時(shí)更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。