熱壓法：把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型，能夠提高靶材的致密度和機械強度，同時有助于減少氣孔和其他缺陷。

冷等靜壓法：利用液壓介質(zhì)在室溫下對銦粉末施加均勻壓力使其成型，可制造出高密度和均勻性的靶材，但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來提高其機械性能。

顯示領域：廣泛應用于液晶顯示器（LCD）、有機發(fā)光二極管顯示器（OLED）等顯示器件的制造，用于形成透明導電薄膜，提高顯示器的性能和質(zhì)量。

科研與前沿技術(shù)

1. 量子計算與超導器件

探索應用：銦薄膜作為超導材料（如 In-Nb 合金），用于量子比特器件的制備，利用其超導電性實現(xiàn)低損耗量子信號傳輸。

2. 柔性電子與可穿戴設備

技術(shù)方向：在柔性電路板（FPC）、電子皮膚中作為可拉伸導電薄膜，利用銦的高延展性滿足器件形變需求。

濺射時間與沉積厚度

厚度監(jiān)控：使用石英晶體微天平（QCM）實時監(jiān)測薄膜沉積速率，結(jié)合靶材消耗速率（約 0.1~0.5 μm/min，與功率相關(guān)），控制濺射時間。

靶材利用率：避免過度濺射導致靶材 “打穿”（剩余厚度＜2 mm 時需及時更換），通常平面靶材利用率約 30%~40%，旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。