物理特性:銦靶材呈銀色光澤的灰色,熔點(diǎn)為 156.61℃,沸點(diǎn) 2060℃,密度 7.3 g/cm3。質(zhì)地非常軟,能用指甲刻痕,可塑性強(qiáng),有良好的延展性,可壓成片。
化學(xué)特性:銦具有較好的化學(xué)穩(wěn)定性,但在一些特定的環(huán)境下,如高溫、強(qiáng)酸堿等條件下,可能會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。銦化合物在真空下蒸發(fā),能夠在電子產(chǎn)品和光伏電池生產(chǎn)中形成薄膜。
熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機(jī)械強(qiáng)度,同時(shí)有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質(zhì)在室溫下對(duì)銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來提高其機(jī)械性能。
化合物半導(dǎo)體器件
場(chǎng)景:用于制造銦鎵砷(InGaAs)、銦磷(InP)等化合物半導(dǎo)體芯片,廣泛應(yīng)用于 5G 通信基站、雷達(dá)、光纖通信等高頻電子設(shè)備。
作用:提升器件的高頻性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
靶材回收與再利用
回收價(jià)值:報(bào)廢銦靶(含濺射過程中產(chǎn)生的碎屑、廢膜)可通過化學(xué)溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達(dá) 95% 以上),降低生產(chǎn)成本。
環(huán)保要求:回收過程中產(chǎn)生的廢水需處理至重金屬排放標(biāo)準(zhǔn)(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。