物理特性:銦靶材呈銀色光澤的灰色,熔點(diǎn)為 156.61℃,沸點(diǎn) 2060℃,密度 7.3 g/cm3。質(zhì)地非常軟,能用指甲刻痕,可塑性強(qiáng),有良好的延展性,可壓成片。
化學(xué)特性:銦具有較好的化學(xué)穩(wěn)定性,但在一些特定的環(huán)境下,如高溫、強(qiáng)酸堿等條件下,可能會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。銦化合物在真空下蒸發(fā),能夠在電子產(chǎn)品和光伏電池生產(chǎn)中形成薄膜。
. 光通信器件
應(yīng)用:在光纖連接器、光調(diào)制器中作為鍍膜材料,提升光學(xué)元件的信號(hào)傳輸效率和穩(wěn)定性。
場(chǎng)景:數(shù)據(jù)中心高速光模塊、5G 前傳網(wǎng)絡(luò)的光器件制造。
功率與溫度管理
濺射功率:
銦的濺射閾值較低(約 10 eV),起始功率不宜過高(建議從 50 W 逐步遞增),避免瞬間過熱導(dǎo)致靶材熔融或飛濺(銦熔點(diǎn)僅 156.6℃,過熱易造成靶材局部熔化,形成 “熔坑” 影響均勻性)。
直流濺射功率密度通常為 1~5 W/cm2,射頻濺射可適當(dāng)提高至 5~10 W/cm2。
靶材冷卻:
采用水冷靶架(水溫控制在 15~25℃),確保濺射過程中靶材溫度低于 80℃(高溫會(huì)導(dǎo)致銦原子擴(kuò)散加劇,影響薄膜結(jié)晶質(zhì)量)。
定期檢查冷卻水路是否通暢,避免因散熱不良導(dǎo)致靶材變形或脫靶。
防護(hù)措施
個(gè)人防護(hù):操作時(shí)佩戴防靜電手套、護(hù)目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風(fēng)良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠(yuǎn)離明火,廢棄靶材及碎屑應(yīng)收集于專用容器中,按危險(xiǎn)廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時(shí)需確保設(shè)備接地良好,防止電磁輻射對(duì)操作人員或周邊儀器的干擾。