半導(dǎo)體領(lǐng)域:純銦在半導(dǎo)體中用作薄膜層,銦靶材可用于制造高速電動機(jī)的軸承涂層,使?jié)櫥途鶆蚍植?,還可用于半導(dǎo)體器件的制造,如集成電路、芯片等。
顯示領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導(dǎo)電薄膜,提高顯示器的性能和質(zhì)量。
科研與前沿技術(shù)
1. 量子計(jì)算與超導(dǎo)器件
探索應(yīng)用:銦薄膜作為超導(dǎo)材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制備,利用其超導(dǎo)電性實(shí)現(xiàn)低損耗量子信號傳輸。
2. 柔性電子與可穿戴設(shè)備
技術(shù)方向:在柔性電路板(FPC)、電子皮膚中作為可拉伸導(dǎo)電薄膜,利用銦的高延展性滿足器件形變需求。
濺射時(shí)間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時(shí)間。
靶材利用率:避免過度濺射導(dǎo)致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時(shí)需及時(shí)更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。