熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機械強度,同時有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質在室溫下對銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結處理來提高其機械性能。
集成電路(IC)制造
用途:作為金屬互連層或接觸電極材料,用于芯片內部的導電線路、晶體管電極等關鍵部位。
優(yōu)勢:銦的低熔點和高延展性使其易于加工成極薄的薄膜,滿足納米級制程對材料精度的要求。
薄膜太陽能電池
主流技術:用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽能電池的濺射鍍膜,作為光吸收層(In-Ga-Se 合金)的核心材料。
優(yōu)勢:CIGS 電池的光電轉換效率超過 23%,銦靶的純度直接影響電池的開路電壓和填充因子。
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