凈室，又稱無塵室、潔凈室或清凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經過的（如沒有受控的微生物），更在意的是凈室中的灰塵。

所需的外氣較多由于半導體工廠中，制程系統需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數排除，故排氣量相當大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。

半導體廠凈室室內壓力大小半導體廠凈室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長凈室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉成本。

氣流分布須均勻凈室空調為帶走凈室內所產生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當的控制。

凈室是一種以合理的成本開發(fā)高質量軟件的基于理論、面向工作組的方法。凈室是基于理論的，因為堅實的理論基礎是任何工程學科所不可缺少的。再好的管理也代替不了理論基礎。凈室是面向工作組的，因為軟件是由人開發(fā)出來的，并且理論必須簡化到實際應用才能引導人的創(chuàng)造力和協作精神。凈室是針對經濟實用軟件的生產的，因為在現實生活中，業(yè)務和資源的限制必須在軟件工程中予以滿足。后，凈室是針對高質量軟件的生產的，因為高質量改進管理，降低風險及成本，滿足用戶需求，提供競爭優(yōu)勢。