凈室,又稱無(wú)塵室、潔凈室或清凈室,是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來(lái)源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個(gè)凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別,污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用顆粒大小來(lái)厘定的。低級(jí)別的凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)的(如沒(méi)有受控的微生物),更在意的是凈室中的灰塵。
所需的外氣較多由于半導(dǎo)體工廠中,制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣,這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除,故排氣量相當(dāng)大,為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大,此時(shí)所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。
半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外,并可延長(zhǎng)凈室ULPAfilter的壽命,但不能無(wú)條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>
在一個(gè)建設(shè)場(chǎng)地內(nèi),確定各廠房設(shè)計(jì)方案時(shí),宜使構(gòu)配件的類型統(tǒng)一。
在技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理的基礎(chǔ)上,廠房的體形應(yīng)力求簡(jiǎn)單,避免設(shè)置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。
在編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集時(shí),應(yīng)使用途相同的構(gòu)配件具有限度的互換性。
廠房建筑設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定外,還應(yīng)符合現(xiàn)行有關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。