晶圓校準器 Wafer Aligner
晶圓校準器是一種應用于晶圓加工中的晶圓預對準裝置,通過利用晶圓上的缺口(notch)將晶圓調(diào)整至預設位置,以確保晶圓的位置及方向,方便后續(xù)工藝的進行。產(chǎn)品廣泛應用于半導體制造過程中的各個階段,可集成至各類半導體設備中使用。
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