一種可行的解決方案就是采用電容式方案,來制造微型麥克風。這一方法的優(yōu)點就是:在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風有相當難度,因為在兩個電容極板之間的空氣介質只能有很小的間隔。而且,由于尺寸的限制,在一些應用場合偏置電壓很難滿足?;谏鲜鰡栴},對于電容式麥克風的研究一直沒有間斷過
電容型
電容式麥克風有兩塊金屬極板,其中一塊表面涂有駐極體薄膜(多數(shù)為聚全氟乙丙烯)并將其接地,另一極板接在場效應晶體管的柵極上,柵極與源極之間接有一個二極管。當駐極體膜片本身帶有電荷,表面電荷地電量為Q,板極間地電容量為C,則在極頭上產生地電壓U=Q/C,當受到振動或受到氣流地摩擦時,由于振動使兩極板間的距離改變,即電容C改變,而電量Q不變,就會引起電壓的變化,電壓變化的大小,反映了外界聲壓的強弱,這種電壓變化頻率反映了外界聲音的頻率,這就是駐極體傳聲器地工作原理
有動圈式、電容式、駐極體和近新興的硅微傳聲器,此外還有液體傳聲器和激光傳聲器。
動圈傳聲器音質較好,但體積龐大。
駐極體傳聲器體積小巧,成本低廉,在電話、手機等設備中廣泛使用。
硅微麥克風基于CMOSMEMS技術,體積更小。其一致性將比駐極體電容器麥克風的一致性好4倍以上,所以MEMS麥克風特別適合高性價比的麥克風陣列應用,其中,匹配得更好的麥克風將改進聲波形成并降低噪聲。
內置麥克風:
內置麥克風是指設置在數(shù)碼攝像機內的麥克風,用作拍攝錄音之用。作為視頻和音頻的記錄裝置,數(shù)碼攝像機的麥克風當然不能馬虎。對于消費級的數(shù)碼攝像機來說,很多麥克風都安裝在機體里面,這樣的好處是能節(jié)省空間,真正實現(xiàn),消費數(shù)碼攝像機方便的理念,但是這樣一來,內置麥克風可能會在錄音的同時錄下機器的轉動聲音,這些噪音在后期制作中很容易分辨,卻跟難分離和去掉的。