麥克風(fēng)，學(xué)名為傳聲器，由英語(yǔ)microphone（送話器）翻譯而來(lái)，也稱(chēng)話筒，微音器。麥克風(fēng)是將聲音信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的能量轉(zhuǎn)換器件。分類(lèi)有動(dòng)圈式、電容式、駐極體和近新興的硅微傳聲器，此外還有液體傳聲器和激光傳聲器。大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)，其的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜 。

大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)（ECM），這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜。與ECM的聚合材料振動(dòng)膜相比，MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定，不會(huì)受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng)，MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會(huì)有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，這甚至可以節(jié)省制造過(guò)程中的音頻調(diào)試成本。目前，集成電路工藝正越來(lái)越廣泛地被應(yīng)用在傳感器及傳感器接口集成電路的制造中。這種微制造工藝具有、設(shè)計(jì)靈活、尺寸微型化、可與信號(hào)處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應(yīng)的，有研究報(bào)道稱(chēng)，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是，在敏感膜內(nèi)不存在應(yīng)力的情況下，這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導(dǎo)致麥克風(fēng)在聽(tīng)覺(jué)頻率范圍內(nèi)的頻率響應(yīng)極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB)，這對(duì)于麥克風(fēng)應(yīng)用是不可接受的。當(dāng)敏感膜內(nèi)存在張應(yīng)力時(shí)，其諧振頻率將增大，卻以犧牲靈敏度為代價(jià)。當(dāng)然，可以通過(guò)調(diào)整敏感膜的尺寸來(lái)獲得更高的一階諧振頻率，但是這仍將減小靈敏度。由此可見(jiàn)，壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造 。

一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來(lái)制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點(diǎn)就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因?yàn)樵趦蓚€(gè)電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場(chǎng)合偏置電壓很難滿(mǎn)足?；谏鲜鰡?wèn)題，對(duì)于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒(méi)有間斷過(guò)

總諧波失真(THD)

諧波失真是指輸出信號(hào)比輸入信號(hào)多出的諧波成分。諧波失真由于系統(tǒng)不是完全線性造成的。所有附加諧波電平之和稱(chēng)為總諧波失真。一般說(shuō)來(lái)，500Hz頻率處的總諧波失真小，因此不少產(chǎn)品均以該頻率的失真作為它的指標(biāo)?？傊C波失真在1%以F，入耳分辨不出來(lái)，超過(guò)10%就可以明顯聽(tīng)出失真的成分。數(shù)值越小，音色就更加純凈，表明產(chǎn)品品質(zhì)越高。一般產(chǎn)品的總諧波失真都小于1%（以500Hz頻率測(cè)量）