一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因為在兩個電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡栴}，對于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒有間斷過

電容型

電容式麥克風(fēng)有兩塊金屬極板，其中一塊表面涂有駐極體薄膜（多數(shù)為聚全氟乙丙烯）并將其接地，另一極板接在場效應(yīng)晶體管的柵極上，柵極與源極之間接有一個二極管。當(dāng)駐極體膜片本身帶有電荷，表面電荷地電量為Q，板極間地電容量為C，則在極頭上產(chǎn)生地電壓U=Q/C，當(dāng)受到振動或受到氣流地摩擦?xí)r，由于振動使兩極板間的距離改變，即電容C改變，而電量Q不變，就會引起電壓的變化，電壓變化的大小，反映了外界聲壓的強弱，這種電壓變化頻率反映了外界聲音的頻率，這就是駐極體傳聲器地工作原理

頻響特性：

話筒0°主軸上靈敏度隨頻率而變化的特性。要求有合適的頻響范圍，且該范圍內(nèi)的特性曲線要盡量平滑，以改善音質(zhì)和抑制聲反饋。同樣的聲壓，而頻率不同的聲音施加在話筒上時的靈敏度就不一樣，頻響特性通常用通頻帶范圍內(nèi)的靈敏度相差的分貝數(shù)來表示。通頻帶范圍愈寬，相差的分貝數(shù)愈少，表示話筒的頻響特性愈好，也就是話筒的頻率失真小。

靈敏度：

在1KHz的頻率下，0.1Pa規(guī)定聲壓從話筒正面0°主軸上輸入時，話筒的輸出端開路輸出電壓，單位為10mV/Pa。靈敏度與輸出阻抗有關(guān)。有時以分貝表示，并規(guī)定10V/Pa為0dB，因話筒輸出一般為毫伏級，所以，其靈敏度的分貝值始終為負值。