除了凈化技術(shù)，電子廠凈化車間還需進(jìn)行空氣流動(dòng)管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制?？諝饬髁靠刂瓶梢源_保車間內(nèi)的空氣量充足，滿足生產(chǎn)所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域，有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內(nèi)的氣壓差，防止外界的空氣進(jìn)入凈化區(qū)域?？諝饬鲃?dòng)管理的合理應(yīng)用，可以保持車間內(nèi)空氣的潔凈狀況。

微粒控制十分嚴(yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級(jí)或更嚴(yán)格。

高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。

對(duì)微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實(shí)可行的規(guī)定

對(duì)防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬㎡

丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測系統(tǒng)后，其每個(gè)防火分區(qū)的允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

凈化車間工程凈化系統(tǒng)不進(jìn)行清洗，均會(huì)影響空氣潔凈等級(jí)。普通空調(diào)系統(tǒng)不是一次安裝完，多次安裝必然有一些污染物留在風(fēng)管之中，如果不清理干凈，就會(huì)直接影響空氣的清潔度，所以在安裝過程中要邊施工邊清洗，并在驗(yàn)證之前進(jìn)行24小時(shí)空吹。