噪音控制是其中的一項(xiàng)重要工作。電子生產(chǎn)過(guò)程中的噪音可能會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和員工健康產(chǎn)生不良影響,因此需要采取措施進(jìn)行噪音防護(hù)。此外,車(chē)間的照明、地面材料等也需要考慮,以提供良好的工作環(huán)境。
電子凈化車(chē)間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)(小于3.5個(gè)),1000級(jí)(小于35個(gè)),10000級(jí)(小于350個(gè)),100000級(jí)(小于3500個(gè))。
電子工廠凈化廠房特點(diǎn)
>電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛
IC特征尺寸0.05u m,12" ~16" ,64G
TFT第六代產(chǎn)品
對(duì)化學(xué)污染物的嚴(yán)格要求
大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房
投資大、能量消耗大
凈化工程包括:亂流式、亂流式、復(fù)合式。
1、亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
2、層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。
3、復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。