靜電除塵技術(shù)則可以通過(guò)靜電作用將空氣中帶電粒子去除，進(jìn)一步提高空氣質(zhì)量。化學(xué)吸附技術(shù)則可以去除空氣中的有害氣體，例如甲醛、苯等有機(jī)物。這些技術(shù)的綜合應(yīng)用，可以確保車(chē)間內(nèi)的空氣干凈、清潔，符合生產(chǎn)要求。

電子廠凈化工程是電子工業(yè)廠房建造不可缺少的一部分,也是對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的一種改善。電子潔凈車(chē)間潔凈度級(jí)別可分為10級(jí)，100級(jí)，1000級(jí)，萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等，電子潔凈車(chē)間潔凈度直接影響電子產(chǎn)品的質(zhì)量。

電子凈化車(chē)間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)(小于3.5個(gè))，1000級(jí)(小于35個(gè))，10000級(jí)(小于350個(gè))，100000級(jí)(小于3500個(gè))。

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復(fù)合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

2、層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型，空氣由過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。

3、復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。