空氣凈化技術(shù)是電子廠凈化車間的核心。其中，主要的凈化技術(shù)包括過(guò)濾、靜電除塵、化學(xué)吸附等。過(guò)濾器可以有效地過(guò)濾空氣中的微粒，將空氣中的塵埃、等顆粒物截留下來(lái)。

靜電除塵技術(shù)則可以通過(guò)靜電作用將空氣中帶電粒子去除，進(jìn)一步提高空氣質(zhì)量?；瘜W(xué)吸附技術(shù)則可以去除空氣中的有害氣體，例如甲醛、苯等有機(jī)物。這些技術(shù)的綜合應(yīng)用，可以確保車間內(nèi)的空氣干凈、清潔，符合生產(chǎn)要求。

電子工廠凈化廠房特點(diǎn)

>電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛

IC特征尺寸0.05u m,12" ～16" ，64G

TFT第六代產(chǎn)品

對(duì)化學(xué)污染物的嚴(yán)格要求

大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房

投資大、能量消耗大

微?？刂剖謬?yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級(jí)或更嚴(yán)格。

高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。

對(duì)微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實(shí)可行的規(guī)定

對(duì)防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬(wàn)㎡