對(duì)于過濾器，氣流穿過濾材的速度一般在0.01～0.04m/s，在這個(gè)范圍內(nèi)，過濾器的阻力與過濾風(fēng)量呈正比關(guān)系。例如，一只484×484×220mm的過濾器，在額定風(fēng)量1000m3/h下的初阻力為250Pa，如果使用中的實(shí)際風(fēng)量是500m3/h，它的初阻力可降為125Pa。對(duì)于空調(diào)箱中的一般通風(fēng)用過濾器，氣流穿過濾材的速度在0.13～1.0m/s范圍內(nèi)，阻力與風(fēng)量不再是線性關(guān)系，而是一條上揚(yáng)的弧線，風(fēng)量增加30%，阻力可能會(huì)增加50%，若過濾器阻力對(duì)你來說是個(gè)非常重要的參數(shù)，你就要向過濾器供應(yīng)商索要阻力曲線。

無塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競(jìng)爭力，各個(gè)行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。

除了防止微塵進(jìn)入，無塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來確保無塵室內(nèi)的空氣潔凈度級(jí)別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運(yùn)行中，維護(hù)也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機(jī)軸承的運(yùn)行是否處于正常狀態(tài)等。每一項(xiàng)都影響了系統(tǒng)的運(yùn)行，因此不可遺漏。

建造一個(gè)合格的電子無塵車間需要考慮多個(gè)因素，包括空氣過濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設(shè)備和工作流程。空氣過濾：安裝的空氣過濾系統(tǒng)是建造無塵車間的關(guān)鍵。使用HEPA（顆粒空氣）過濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進(jìn)入車間。