所謂半導(dǎo)體電子潔凈車(chē)間，指的是潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無(wú)塵車(chē)間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過(guò)濾器的使用效果越好。

一般生產(chǎn)車(chē)間一般以自身的加工工藝規(guī)定為標(biāo)準(zhǔn)，可是無(wú)塵室管理就顯著繁雜很多。依據(jù)自然環(huán)境清潔水平，按時(shí)拆換初、中效過(guò)濾器空氣過(guò)濾網(wǎng)，中效過(guò)濾器拆換時(shí)間隔一般為3-6個(gè)月，新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)口的中效過(guò)濾器拆換清理間隔時(shí)間為30天上下。按時(shí)(3~6個(gè)月)檢驗(yàn)各凈化室的工作壓力，一般潔凈區(qū)正壓力應(yīng)超過(guò)10pa，不然務(wù)必查驗(yàn)初效、中效過(guò)濾器是不是阻塞，拆換、查驗(yàn)送排煙風(fēng)機(jī)是不是運(yùn)行正常。

無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無(wú)塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無(wú)污染源的環(huán)境、超潔凈的車(chē)間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競(jìng)爭(zhēng)力，各個(gè)行業(yè)也開(kāi)始追求無(wú)塵室的質(zhì)量。

工作人員會(huì)帶入塵埃，那么所有的物料及設(shè)備也會(huì)影響無(wú)塵室的清潔。在物流和設(shè)備進(jìn)入時(shí)，要做到不將任何微粒或微生物帶入室內(nèi)。工作人員要在無(wú)塵室內(nèi)穿著潔凈衣服，用無(wú)塵紙擦拭物料和設(shè)備。搬運(yùn)時(shí)也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過(guò)的不銹鋼板，防止破壞地板。