1、進(jìn)入潔凈室之前,預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;
2、用可控的多級(jí)壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;
3、HEPA過(guò)濾;
4、增強(qiáng)工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;
5、保護(hù)性外衣;
6、清潔;
7、雙門(mén)配置將相鄰的空間分開(kāi),包括運(yùn)送和接收區(qū)域。
在將關(guān)鍵空間設(shè)計(jì)為分級(jí)的潔凈室是合理的。
在比較寬大的汽車(chē)組裝環(huán)境中,從機(jī)器人和其它裝配設(shè)備上散發(fā)出來(lái)油霧和金屬微粒會(huì)散布到空氣中,精密的機(jī)械組件必須清洗和處理。解決這個(gè)問(wèn)題的核心在于設(shè)置無(wú)塵區(qū)或者保護(hù)區(qū),把噴漆和重要的生產(chǎn)區(qū)域分開(kāi),避免交叉污染??刂瓶諝馕廴疚?,不能讓它進(jìn)入生產(chǎn)區(qū),例如發(fā)動(dòng)機(jī)和傳動(dòng)裝置組裝區(qū)。
按受控粒子的性質(zhì)劃分
(1)工業(yè)潔凈室:受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。
(2)生物潔凈室:受控粒子為生物粒子的潔凈室。
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室,尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言,其負(fù)荷特點(diǎn)是:由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大;送風(fēng)量大,輸送動(dòng)力消耗大,風(fēng)機(jī)管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量(減少排風(fēng)量);控制送風(fēng)量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風(fēng)量;選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。