1、進入潔凈室之前,預先清潔儀器、人員以及零件;
2、用可控的多級壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;
3、HEPA過濾;
4、增強工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;
5、保護性外衣;
6、清潔;
7、雙門配置將相鄰的空間分開,包括運送和接收區(qū)域。
在將關鍵空間設計為分級的潔凈室是合理的。
在制造環(huán)境中,人們所關注的微粒尺寸一般都比較大,它們不會像煙霧那樣散開,而會掉到組件的表面上,所以與在半導體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外,人們關注的范圍也越來越窄,需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間,小的在40至60μm之間,例如金屬、類污染物。這些用戶的目標與常規(guī)潔凈室用戶的沒有什么兩樣:防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。
潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實際應用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實現(xiàn)高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設水平單向流的“隧道”(一側(cè)敞開),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實現(xiàn)“隧道”部分達到5級以上潔凈度,工作臺就設在“隧道內(nèi)”。
當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風口。