污染物微粒聚集在組件不適當(dāng)?shù)奈恢蒙峡赡軙?huì)損害其功能或者使其徹底報(bào)廢。柴油噴射技術(shù)就是一個(gè)很好的例子。從1996年開始,在五年時(shí)間里這項(xiàng)技術(shù)性能迅速提高,結(jié)果是噴射壓力越來越高、噴嘴尺寸越做越小。高壓泵的壓力在2000巴以上,燃料通過直徑大約為100μm的孔注入燃燒室。在生產(chǎn)這類系統(tǒng)時(shí)只是保證不同的組件高度清潔是不夠的,組裝工藝也必須在高度清潔的環(huán)境下進(jìn)行。
潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對(duì)環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過,在無潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。
對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過濾器,對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行后一級(jí)過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。