國(guó)內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無(wú)害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類(lèi)。濕法類(lèi)主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點(diǎn)是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

還有學(xué)者采用萃取法對(duì)廢液晶屏中銦錫等進(jìn)行分離和回收，僅停留在試驗(yàn)室階段，未能實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化?；鸱?lèi)主要的提取方式為氫氣還原廢靶粉得到銦錫合金，合金再經(jīng)真空蒸餾分離得到粗銦和粗錫，該方法同樣存在銦錫分離不徹底的問(wèn)題，粗錫中含銦高達(dá)1%以上，銦直收率﹤98%。

火濕法聯(lián)合類(lèi)的主要工藝為以氫氣還原得到銦錫合金，合金再通過(guò)精細(xì)化的電解精煉進(jìn)行銦錫的分離等；該技術(shù)的缺點(diǎn)是錫主要存在于陽(yáng)極泥中，銦電解過(guò)程中的陽(yáng)極殘級(jí)率高，銦的回收率﹤98%。

試驗(yàn)結(jié)果表明，基于蒸餾法的銦錫資源化工藝可實(shí)現(xiàn)更徹底的銦錫分離效果：在實(shí)現(xiàn)99.52%的錫去除率的同時(shí)，銦的收率高達(dá)99.70%。本研究在獲得更高的銦錫直收率的同時(shí)，可得到高品質(zhì)的金屬銦產(chǎn)品及副產(chǎn)品五水氯化錫；且蒸餾過(guò)程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后可回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。