國內外關于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術的相關研究較多,主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出,浸出液經氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦,該方法的缺點是銦錫分離率低,氧化錫渣等中含銦約1%~2%,銦直收率﹤97%。
火濕法聯(lián)合類的主要工藝為以氫氣還原得到銦錫合金,合金再通過精細化的電解精煉進行銦錫的分離等;該技術的缺點是錫主要存在于陽極泥中,銦電解過程中的陽極殘級率高,銦的回收率﹤98%。
對ITO廢靶材中銦錫進行資源化的關鍵是要綜合考量銦錫的分離率、直收率以及產品和副產品的品質等經濟技術指標。上述幾種主流的從ITO廢靶中綜合回收銦錫的工藝中有一個共性的問題,那就是銦錫的分離不夠徹底,銦的回收率在97%~98%,進一步提升銦收率的空間較小,產生的錫渣或粗錫中含銦較高,作為錫原料或產品出售時會造成銦的損失;所以,探尋一種從ITO廢靶材中充分、徹底分離并回收銦錫的新方法顯得尤為重要。
ITO靶材生產所消耗的銦錠占全球銦消費總量的70%左右,其它包括電子半導體領域、合金和焊料領域、研究行業(yè)。全球預估銦儲量僅5萬噸,其中可開采部分僅有50%。