國內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多,主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出,浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦,該方法的缺點(diǎn)是銦錫分離率低,氧化錫渣等中含銦約1%~2%,銦直收率﹤97%。
還有學(xué)者采用萃取法對(duì)廢液晶屏中銦錫等進(jìn)行分離和回收,僅停留在試驗(yàn)室階段,未能實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化?;鸱愔饕奶崛》绞綖闅錃膺€原廢靶粉得到銦錫合金,合金再經(jīng)真空蒸餾分離得到粗銦和粗錫,該方法同樣存在銦錫分離不徹底的問題,粗錫中含銦高達(dá)1%以上,銦直收率﹤98%。
ITO靶材可應(yīng)用于以下領(lǐng)域:(1)平板顯示器(FPD)產(chǎn)業(yè),如薄膜晶體管顯示器(TFT-LCD)、液晶顯示器(LCD)、高觸摸屏(TouchPanel)、等離子管顯示器(PDP)、有機(jī)電致發(fā)光顯示(OLED)等;(2)光伏產(chǎn)業(yè),如薄膜太陽能電池;功能性玻璃,如紅外線反射玻璃、抗紫外線玻璃如幕墻玻璃、飛機(jī)、汽車上的防霧擋風(fēng)玻璃、光罩和玻璃型磁盤等。其中,平板顯示器及太陽能電池是其主要應(yīng)用領(lǐng)域。
中國已經(jīng)是世界的ITO靶材需求國,在全球的比重將從2016年的40%提高到2019年的49%,則中國對(duì)ITO靶材的需求量從2016年的542噸增長(zhǎng)到2019年的823噸。