在無塵車間裝修過程中,管道是工程的一部分。無塵車間工程所采用的保溫材料應(yīng)符合《防火規(guī)范》的要求,滿足潔凈室的需要。也就是說,無塵車間的管道保溫材料和膠粘劑應(yīng)選用不燃材料或阻燃材料,不應(yīng)選用易揚塵的材料(如玻璃纖維、短纖維礦棉等)。在下列情況下,必須使用不燃絕緣材料。
電子無塵車間投資越大,質(zhì)量水平越高,至于電子產(chǎn)品參與的人絡(luò)繹不絕。幾年后,電子無塵車間內(nèi)的電子產(chǎn)品尺寸可達到0.5微米左右,整體電路存儲可達到更高的水平,因此,目前很多潔凈室的部件都用在了微電子上,建設(shè)和運營的資金都非常高。
在整個集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進,芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會成為廢品,因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。
在決定無塵車間的設(shè)計之前,必須仔細考慮工廠的工作性質(zhì)和氣流條件。在粉塵排放量較大的無塵車間內(nèi),不要使用地面送風(fēng),以免進入其他需要清潔的工作場所。 無塵車間必須防止外界空氣進入室內(nèi),室內(nèi)必須保持正壓才能達到目的。為了獲得必要的室內(nèi)壓力,必須添加適當(dāng)?shù)男迈r空氣。