1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
凈化廠房是對固定的場內(nèi)空間內(nèi)的空氣進行循環(huán)凈化,將該空間內(nèi)空氣中的灰塵顆、浮游菌、等物減少、控制在固定的控制值之內(nèi)。因為空氣凈化工程通常是利用空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)(即空調(diào)器)來進行循環(huán)凈化的。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別的凈化車間。
潔凈室建筑規(guī)劃設(shè)計具備較強的綜合性。它與普通的工業(yè)廠房建筑規(guī)劃設(shè)計多種的是要主要解決為實現(xiàn)產(chǎn)品制造所標準的潔凈環(huán)境,統(tǒng)籌安排好各專業(yè)技術(shù)在平面和空間布局上發(fā)生的矛盾;以適宜的工程造價,得到更好的空間與平面的綜合性作用,并較好地符合產(chǎn)品制造所須要的潔凈生產(chǎn)環(huán)境。這里特別要綜合性處置好潔凈室的建筑規(guī)劃設(shè)計與潔凈室工藝設(shè)計、空氣凈化設(shè)計中間互相協(xié)調(diào)問題,比如切合制造工藝流程、分配好人流與物流,潔凈室的氣流組織、建筑的氣密性和建筑裝飾的實用性等。