車間凈化工作原理為當(dāng)控制器接通電源時(shí),油霧分離器口產(chǎn)生強(qiáng)大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內(nèi)。在油霧分離器內(nèi)風(fēng)輪的作用下發(fā)生碰撞,使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒,在吸霧材料的阻擋下實(shí)現(xiàn)空氣與水的分離。
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別的凈化車間。
按照無塵凈化車間管理規(guī)定,無塵凈化級別主要就是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子的數(shù)量來規(guī)定。換種解釋,所謂無塵并非沒有一點(diǎn)灰塵,而是把灰塵控制在一個(gè)非常微量的單位上。而且這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒與我們常見的灰塵相比較已經(jīng)是小到微乎其微。但是對于光學(xué)構(gòu)造來講,一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都可能會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。因此在無塵凈化車間管理規(guī)定中說明在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,要求無塵凈化車間無塵是必然的。?