凈化廠房是對(duì)固定的場內(nèi)空間內(nèi)的空氣進(jìn)行循環(huán)凈化,將該空間內(nèi)空氣中的灰塵顆、浮游菌、等物減少、控制在固定的控制值之內(nèi)。因?yàn)榭諝鈨艋こ掏ǔJ抢每諝庹{(diào)節(jié)系統(tǒng)(即空調(diào)器)來進(jìn)行循環(huán)凈化的。
潔凈廠房建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。 裝配式潔凈廠房系統(tǒng)主要由初,中,高三級(jí)空氣過濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和 排風(fēng)系統(tǒng);動(dòng)力及照明系統(tǒng);工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報(bào)警消防和通訊系統(tǒng);人流和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護(hù)結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實(shí)施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個(gè)設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別的凈化車間。
無塵凈化車間主要之作用是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵凈化車間。無塵車間大部分是以工業(yè)鋁材做框架,采用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組送風(fēng),頂部蓋著密縫盲板四周采用防靜的電垂簾,,形成一個(gè)密縫區(qū),內(nèi)部凈化級(jí)別可達(dá)100級(jí)~10萬級(jí);特別適用于車間內(nèi)局部對(duì)潔凈度有嚴(yán)格要求的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)的高度產(chǎn)品組裝區(qū)。