一、激光器的每日保養(yǎng)

激光器應在每日開機前保養(yǎng)。

1) 激光工作用氣體和切割氣體的檢查：檢查激光工作氣體的氣瓶里

2) 檢查冷卻水壓力保持在3.5～5Bar之間。

3) 檢查冷卻水的溫度，以選用的激光器所要求的水的溫度為佳。

4) 檢查激光器真空泵內油面高度，若不夠，則需添加。

5) 檢查激光器油路、水路、氣路有無泄漏情況，真空泵、諧振腔各氣動元件、管接頭是否泄漏。

二、 激光器的每周保養(yǎng)

1) 檢查激光器的氣體混合單元是否有油、水，若有則及時清

理；檢查激光器氣體干燥過濾器，若超過1/4顏色變成紅色或者白色，則需進行更換，其正常顏色為藍色。

2) 檢查真空泵和羅咨泵的油面高度，若不夠，則需添加。

3) 檢查冷水機的過濾器是否有雜質。

4) 檢查激光器冷卻水回路是否有雜質。

5) 檢查壓縮空氣分離器（位于氣源單元內）內的冷凝水水位。 檢查真空泵油位（位于氣源單元下面）。 當泵處于冷態(tài)時，油面應在油窗中間線 5mm—0mm之間，需要時再加油。

檢查羅茨泵油位

羅茨泵齒輪箱中的油位可通過齒輪箱端面的油窗看見，當泵關掉并且處于冷態(tài)時，油位應在玻璃中間線的 5mm—0mm之間，必要時再加型號為HTCL2100油

三、 激光器的每半年保養(yǎng)（或運行2000小時后）

1) 檢查激光器激光頭冷卻水管路是否有腐蝕現(xiàn)象，如果有則要及時處理或者更換管路。

2) 檢查激勵電源油箱是否漏油。

3) 檢查高壓電纜線是否有損壞。

4) 檢查、清理激光諧振腔內部和所有的鏡片，包括前窗鏡、尾鏡、反射鏡等。

5) 激光器內部鏡片清理完后，應重新調整激光器的出光模式，直到達到正確的模式為止。

6) 更換真空泵油。

7) 更換羅茨泵油。

8) 仔細旋緊所有螺塞以確保羅茨泵的氣密性。

9) 在羅茨泵出氣端氣體分流排上有一白色塑料塞，清洗此塞，并在其內表面涂上硅脂。 此硅脂的用途是吸附捕捉激光器循環(huán)流動氣體中的物理雜質。（只可使用無硅高真空 脂，涂得要很?。?/span>

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