潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗潔凈室質量的核心標準,該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內區(qū)域行業(yè)標準,一些知名凈化工程公司,在通行標準之外,還設有自身執(zhí)行的高于國際化通行標準的凈化指標,凈化能力和環(huán)境適應力遠超國際品牌。。
玷污物的污染包含對產品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細胞,一年脫落人體細胞約3.5公斤。
半導體潔凈室內微污染來源,經測試,作業(yè)人員占80% 。
十萬級GMP潔凈車間對不同的對象,有不同的玷污物控制要求。
計有:
⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空氣中懸浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸靜電
⑹生產工藝介質:高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學品等的有關雜質。
也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
氣流→初效空氣處理→空氣調節(jié)→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→送風口→潔凈室→帶走塵埃() → 回風夾道→新風、初效空氣處理。
重復以上過程,即可達到凈化目的。
技術參數(shù)
換氣次數(shù):十萬級10-15次/小時;
萬級15-25次/小時;
千級50-52次/小時;
百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s;
壓差:主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 新風補充量:總送風量的20%-30%;