潔凈車間，亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。

人是污染源的發(fā)源地：靜坐時，人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(粒≥0.5μm);

每天脫落6～13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5公斤。

半導體潔凈室內(nèi)微污染來源，經(jīng)測試，作業(yè)人員占80% 。

十萬級GMP潔凈車間對不同的對象，有不同的玷污物控制要求。

計有：

⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)

⑵空氣中懸浮分子玷污物

⑶病毒

⑷微振

⑸靜電

⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì)：高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學品等的有關雜質(zhì)。

無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。