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2025-07-01 05:00:01  966次瀏覽 次瀏覽
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整體性:“整體潔凈實驗室-生物實驗室”為客戶提供的是一站式“交鑰匙”工程,降低了采購成本,可減少客戶大量的精力、物力和人力的投入,客戶無需考慮過多的技術細節(jié)問題。

這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個過濾器頂送的送風形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。

氣流有如一個空氣活塞,向下流經(jīng)室內,帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環(huán)至過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉,而紊流通風系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間,單向流用比前面提到的低得多的風速,就可以很快將污染物清除。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。

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