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射頻電源維修常見故障:

故障現(xiàn)象1:打開電源,電源指示燈不亮;

故障現(xiàn)象2:電源燈亮了,預熱燈不亮;

故障現(xiàn)象3:電源燈亮了,預熱燈亮、輝光亮,匹配器功率及反射功率,電源的功率指示和電流指示不正常。(正常的功 率指針指到220,電流指示0.4)

故障現(xiàn)象4:電源燈亮了,預熱燈亮,輝光不亮;

故障現(xiàn)象5:無功率輸出;

故障現(xiàn)象6:有功率輸出,但是調(diào)不大,或是調(diào)不到正常值。

故障現(xiàn)象7:無反射功率,或反射功率過大,射頻功率源壞;

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