潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

無塵車間生產(chǎn)工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內空間密閉、平面布置曲折、風管交錯連通、復合裝修材料復雜，有的生產(chǎn)過程中使用易燃易爆物質，一旦發(fā)生火災，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內部還設有大量的昂貴儀器和設備，易造成重大的人員傷亡和財產(chǎn)損失。

潔凈室的清掃、。

1.潔凈室的清掃一般須在生產(chǎn)工藝結束后進行;如有必要在生產(chǎn)前清掃，則工藝生產(chǎn)在凈化空調系統(tǒng)開機運行時間達到潔凈要求后方可開始進行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設施均應按產(chǎn)品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別專用。

清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進行擦拭，一般每天1次或數(shù)次。

工作臺及工器具清掃一般每天一次;10～1000級廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬～10萬級每月一次。凈化空調系統(tǒng)每年宜清洗1～2次，并委托專門清掃人員進行。

無塵室在絕大多數(shù)情況下，運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因為小粒徑粉的擴散作用明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經(jīng)驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級，風速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級。