靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產生靜電,在一般情況下,越是電導率小的非導體(絕緣體),由于電荷產生后不易流動,因此表現為越容易帶電。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重,是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素,而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災害未被重視以前,這些材料料是被廣泛采用的。
空氣中的微生物無處不在,并常附著在塵埃粒子上,隨著塵埃、霧滴及皮屑、毛發(fā)等傳播??諝庵械膲m埃粒子越多,附著在塵埃粒子上的機會越大,傳播的機會也增加。同樣,病毒也會附著在塵粒上并進行傳播。因此,控制空氣中塵粒的數量就可以控制附著在其上的微生物。
各種微生物的大小可如圖1-1所示。大部分微生物在于0.3μm。病毒是小的微生物,大約在0.005μm以上,其次是立克次氏體。種類很多,多數 在空氣中以群體形式存在。常見的大小為5.5~6.5μm,為3.1~3.9μm,采用空氣過濾器(0.5μm,過濾效率≥99.9%)基本 上可將它們除去。
光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創(chuàng)新發(fā)展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業(yè)中則處于地位。
凈化工程的設計過程中,應加強對光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況,同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節(jié)能實用的方案。