加速器(accelerator)是用人工方法把帶電粒子加速到較高能量的裝置。利用這種裝置可以產(chǎn)生各種能量的電子、質(zhì)子、氘核、α粒子以及其它一些重離子。利用這些直接被加速的帶電粒子與物質(zhì)相作用,還可以產(chǎn)生多種帶電的和不帶電的次級粒子,像γ粒子、中子及多種介子、超子、反粒子等。當前世界上的加速器大多是能量在100兆電子伏以下的低能加速器,其中除一小部分用于原子核和核工程研究方面外,大部分用于其他方面,象化學、放射生物學、放射醫(yī)學、固體物理等的基礎(chǔ)研究以及工業(yè)照相、疾病的診斷和、高純物質(zhì)的活化分析、某些工業(yè)產(chǎn)品的輻射處理、農(nóng)產(chǎn)品及其他食品的輻射處理、模擬宇宙輻射和模擬核爆炸等。數(shù)年來還利用加速器原理,制成各種類型的離子注入機。以供半導體工業(yè)的雜質(zhì)摻雜而取代熱擴散的老工藝。使半導體器件的成品率和各項性能指標大大提高。很多老工藝不能實現(xiàn)的新型器件不斷問世,集成電路的集成度因此而大幅度提高。